山东力冠微电子装备

产品展示


HVPE外延炉——立式

本设备主要用于氧化镓(Ga2O3)、氮化铝(AIN)等外延生长。

坩埚下降炉

本设备主要用于砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等化合物晶体生长。设备由机架、安瓿支撑机构、加热器和控制系统组成,能够实现安瓿移动和转动的精确控制。

导模法长晶炉

本设备主要用于氧化镓(Ga2O3)单晶生长,将原料放在留有狭缝的模具中,熔液借虹吸作 用上升到模具顶部,受籽晶诱导结晶生长成单晶。

HVPE长晶炉——卧式

本设备主要用于氮化镓(GaN)单晶生长;

HVPE长晶炉——立式

本设备主要用于氮化镓(GaN)单晶生长;

SiC籽晶粘接设备

本设备是将SiC籽晶通过有机胶粘接在石墨上。提高籽晶粘接质量是保证高 品质SiC晶体生长的首要前提。

PVT法长晶炉——电阻炉

本设备主要用于碳化硅(SiC)、氮化铝(AIN)单晶生长。

PVT法长晶炉——感应炉

本设备主要用于碳化硅(SiC)、氮化铝(AIN)单晶生长。

液相法长晶炉

液相法可以在更低的温度(<2000℃)以下实现SiC单晶的生长,理论上更容易获得高质量的单晶。利用温度梯度作为生长驱动力来实现晶体的生长。

< 12 > 前往