山东力冠微电子装备

产品展示


MPCVD长晶炉

本设备主要是用于制备单晶金刚石。可激发高稳定度的等离子团,从而确保单晶生长的持续性,为合成大尺寸单晶金刚石提供有力保证。

垂直布里奇曼法(VB)炉(非铱技术)

本设备主要用于氧化镓(Ga2O3)单晶生长(无铱法),将原料放在垂直的坩埚内, 然后从坩埚尖端开始通过预设好的温度梯度区作定向凝固。通过缓慢降温而生长出单晶。

HVPE外延炉——卧式

本设备主要用于氧化镓(Ga2O3)、氮化铝(AIN)等外延生长。

HVPE外延炉——立式

本设备主要用于氧化镓(Ga2O3)、氮化铝(AIN)等外延生长。

坩埚下降炉

本设备主要用于砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等化合物晶体生长。设备由机架、安瓿支撑机构、加热器和控制系统组成,能够实现安瓿移动和转动的精确控制。

导模法长晶炉

本设备主要用于氧化镓(Ga2O3)单晶生长,将原料放在留有狭缝的模具中,熔液借虹吸作 用上升到模具顶部,受籽晶诱导结晶生长成单晶。

HVPE长晶炉——卧式

本设备主要用于氮化镓(GaN)单晶生长;

HVPE长晶炉——立式

本设备主要用于氮化镓(GaN)单晶生长;

SiC籽晶粘接设备

本设备是将SiC籽晶通过有机胶粘接在石墨上。提高籽晶粘接质量是保证高 品质SiC晶体生长的首要前提。

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