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立式丨氧化/扩散/退火/LPCVD/ALD设备

♦适用领域：集成电路、先进封装 Relevant Industries: Integrated Circuits, Advanced Packaging ♦适用材料：Si Suitable for Processing: Silicon (Si) ♦晶圆尺寸：12/8 英寸 Wafer Size: 12/8 inch

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VB/VGF设备

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