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LPE外延炉

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◆ 气相外延是一种单晶薄层生长方法 ◆ 气相外延广义上是化学气相沉积的一种特殊方式，其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续，而且与衬底的晶向保持对应的关系 ◆ 在半导体科学技术的发展中，气相外延发挥了重要作用 ◆ 砷化踪(GaAs)气相外延技术生长的砷化鲸(GaAs)纯度高、电学特性好，广泛的应用于霍尔器件、耿氏二极管、场效应晶体管等微波器件中

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