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卧式炉


所属分类:

氧化/扩散/退火


概要:

该设备是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、 分立器件、电力电子、光电器件等行业的氧化、扩散、退火、合金等工艺。 氧化工艺:主要用于初始氧化层、栅氧化层、场氧化层等多种氧化介质层的制备工艺。


关键词:

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