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VB/VGF设备
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产品应用/Product Applications： ♦适用领域：单晶生长 Relevant Industries:Single Crystal Growth ♦适用材料：InP、GaAs等 Suitable for Processing: InP,GaAs, etc. ♦晶圆尺寸：8/6英寸 Wafer Size: 8/6 inch 技术指标/Technical Indicators： ♦制程温度范围：2200°C Process Temperature Range：2200°C ♦加热方式：感应/电阻 Heating Method:Induction/Resistance
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