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立式炉

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该设备是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、 分立器件、电力电子、光电器件等行业的磷/硼扩散、氧化、退火、合金和烧结等工艺 ； 主要用于初始氧化层、栅氧化层、场氧化层等多种氧化介质层的制备工艺。

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