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RTP快速退火

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RTP快速退火设备


◆ 快速退火炉是利用红外热辐射实现快速加热的一种半导体热处理工艺设备,通过灯光辐射型热源功率控制模块装置和专用灯组对位于工艺腔体的半导体硅片进行快速加热来实现稳定的升温过程

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