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SiC籽晶粘接

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SiC籽晶粘接设备

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♦ 籽晶的粘接工艺技术是将SiC籽晶通过有机胶粘接在石墨纸上，提高籽晶粘接质量是保证高品质SiC晶体生长的首要前提。

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