山东力冠升级PVT设备，引领8-12英寸碳化硅晶圆高效量产
2025-07-30
为突破大尺寸碳化硅（SiC）晶圆在生长效率、均匀性控制及成本方面的关键瓶颈，山东力冠微电子装备有限公司近日正式发布其12英寸PVT电阻设备及8英寸多坩埚设备。为8-12英寸SiC晶圆的规模化、稳定化、低成本制备树立了新的行业标杆。
均匀性保障：集成先进多温区精准控制技术，有效确保晶格质量与厚度一致性，满足严苛的量产质量要求。
效率倍增，成本锐减：
山东力冠微电子装备凭借其深厚的技术积淀和快速响应的市场策略，已与国内多家头部半导体企业建立起深度合作关系，并正积极拓展全球市场，国际影响力稳步提升。
展望未来，山东力冠微电子装备将持续聚焦大尺寸、高性价比PVT设备的研发与迭代，致力于通过核心设备的技术突破，提升全球SiC产业链的效率与韧性，促进供应链多元化发展，为半导体材料的革新与广泛应用持续提供关键动能。
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