产品分类
MPCVD设备
所属分类：
化合物晶体设备
MPCVD设备
概要：
适用领域： 单晶生长、多晶热沉 Relevant Industries: Single Crystal Growth, Polycrystalline Heat Sink Fabrication 适用材料: Diamond Suitable for Processing: Diamond 晶圆尺寸: 8/6/4/3/2英寸 Wafer Size: 8/6/4/3/2 inch
关键词：
MPCVD
MPCVD设备
产品应用/Product Applications：
适用领域： 单晶生长、多晶热沉 Relevant Industries: Single Crystal Growth, Polycrystalline Heat Sink Fabrication
适用材料: Diamond Suitable for Processing: Diamond
晶圆尺寸: 8/6/4/3/2英寸 Wafer Size: 8/6/4/3/2 inch
产品特点/Product characteristics
加热方式：微波 Heating Method: Microwave
功率/频率：6-15kW（2.45GHz），75kW（915GHz） Power/ Frequency: 6–15 kW ( 2.45 GHz), 75 kW (915 GHz)
偏压（选配）:±300V Bias Voltage (Optional): ±300 V
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