山东力冠微电子装备

产品展示


石墨烯薄膜CVD设备

◆ 本系统是一套完备的石墨烯制备系统,包括硬件和软件部分 ◆ 工作在常压气氛或真空条件,通过控制生长工艺,既可以生长出六边形的石墨烯单晶,也可以生长出花瓣状的石墨烯的单晶

石墨烯卷对卷

♦ 石墨烯薄膜产业化设备 ♦ 宽幅卷对卷连续生长 ♦ APC系统:真空蝶阀自动控制 ♦ 碳源等工艺气体MFC控制 ♦ 薄膜制备过程全自动控制 ♦ 三腔室结构

< 1 > 前往