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SiC高温退火

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SiC高温退火设备


♦ 专门用于硅碳化合物(SiC) 的离子激活和退火处理,可实现SiC片在高温真空环境下完成活性工艺 ♦ 设备适用于SiC基功率器件制造中的离子激活和退火工艺环节 ♦ 加热腔与工艺腔独立密闭设计,提供工艺腔的洁净度

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