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MPCVD

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MPCVD设备


♦ 微波等离子化学气相沉积技术(MPCVD) , 通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量的金刚石单晶和多晶薄膜

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