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  • 产品名称: 扩散炉
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产品简介:
本设备主要应用于太阳能光伏及行业中进行扩散、氧化等工艺。
产品特点及优势:
1.全自动上下料系统
配备自动舟升降,悬臂桨进出等功能,实现四层炉体的自动舟存取全自动化,避免了人工搬上搬下的繁重体力劳动和不确定性。
2.软着陆载片装置
软着陆送料装置,避免了SiC桨的遮挡影响,提高了扩散均匀性。同时桨的清洗周期大幅度延长。
3.自动压力平衡控制
为保证反应管内压力平衡,该装置配有进口压差传感器检测炉内外压差,并有专门的控制装置和气路流量计与之配套实时控制,保证炉内外压差为定值。且可根据工艺需求改变压差设定值。从而提高工艺均匀性及工艺扩展性。
4.高精度温度控制
新型炉体设计,提高了温度稳定性;配合高精度温控仪的使用,保证工艺过程中温度的快速稳定。
5.高性能进口元器件组合
关键件采用进口管件,且为半导体级别;优质的元器件组合,从而保证成膜质量。
主要技术指标:
工艺管数量:3~4管
单台产能:400片(双面)500片(单面)/管
结构型式:卧式热壁型
工作温度范围:400~1150℃
恒温区长度及精度:±0.5℃/1200mm
工艺均匀性:≤±5%(50~80欧姆)
气体流量设定精度:±1%F.S
气路系统气密性:1×10-7pa.m3/s;
控制方式:工业计算机控制
内置五点PROFILE热偶
记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制

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