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  • 产品名称: 石墨烯CVD炉
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产品简介:
系统是一套制备二维材料的CVD设备
可选择等离子增强系统辅助
产品特点:
该系统主要由真空石英管组件、不锈钢真空室组件、样品加热组件、反应物加热组件、样品台组件、气路组件、加热控温组件、安装台架、水冷系统等组成。
主要技术指标:
结构型式:卧式,单管或多管系统自动控制
适应材料规格:块状或是片状
送取片方式:自动悬臂石英推拉舟,配合手动取、放片方式。
最高温度:1200℃连续可调
源加热温度:400℃~850℃连续可调
单点温度稳定性:≤±1 ℃/24h
系统极限真空度:优于5*10-4Pa
抽速:抽至极限真空时间<15Min
辅助系统:等离子辅助系统
工作压力范围:100-760 Torr连续可调
供电电源:三相五线380V±10%,50Hz
冷却水:2~4Kgf/c㎡,8L/min

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