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  • 产品名称: PVT法晶体生长炉
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简述:
本设备主要用于氮化铝晶体的生长工艺
本设备是在惰性气体(氩气)环境中,采用高温加热,使原材料在高温融化
各操作参数可通过显示屏控制
本设备具有各种连锁及安全保护措施,如水温报警、过流报警等
特点:
炉腔压力实时显示
旋转速度实时显示
主加热器功率实时显示,定时采样,显示功率曲线
加热器功率实时显示,定时采样,显示功率曲线
冷却循环水温实时显示,定时采用,水压实时显示,定时采样,水温,水压报警
炉内视频监控,实时显示,计算机存储记录
主要技术参数:
结构型式:立式上装料
工艺腔室:316L
最高温度:2400℃
工作温度:2200℃
冷态极限真空度:优于5×10-4Pa
坩埚上升速率:0.1mm/h,
精度0.01mm/h
坩埚运动行程:100-600mm
坩埚旋转速率:0~30 r/min
工作气氛:氮气和氢气
工作压力:随晶体生长工艺的过程有多个恒定的压力控制点
控制方式:计算机+PLC双系统(即使计算机死机,整机还能正常运行)
冷却循环水温实时显示,水温、水压报警
UPS电源:可供控制系统运行30min

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