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VPE气相(液相)外延炉
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发布日期:2020-08-21
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详细介绍

VPE气相(液相)外延炉

产品简介:

l 气相外延是一种单晶薄层生长方法。气相外延广义上是化学气相沉积的一种特殊方式,其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续,而且与衬底的晶向保持对应的关系。

l 在半导体科学技术的发展中,气相外延发挥了重要作用。GaAs气相外延技术生长的GaAs纯度高、电学特性好,广泛的应用于霍尔器件、耿氏二极管、场效应晶体管等微波器件中。

产品特点:

n 本设备的生长室采用立式石英反应生长室。整个设备包括以下各分系统:反应生长室系统、加热系统、衬底支架传动 系统、 气路系统、水冷却系统、报警系统、气体供给与纯化系统、气动系统、控制系统。

u 旋转速度最大可达3000

u 多坩埚转换


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